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產(chǎn)品詳情

SEC-8000 系列高溫應用質(zhì)量流量控制器

  • 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
  • 產(chǎn)品名稱: SEC-8000 系列高溫應用質(zhì)量流量控制器
  • 產(chǎn)品型號:
  • 產(chǎn)品展商:日本HORIBA
  • 產(chǎn)品文檔:無相關文檔
簡單介紹

高溫應用質(zhì)量流量控制器 SEC-8000 系列 耐溫150℃,*大流量1050SLM, 概要 SEC-8000F/D/E 系列是日本horiba堀場/厚禮博品牌的特殊產(chǎn)品, 可以在高溫環(huán)境下工作, 實現(xiàn)超潔凈狀況下百萬分之上等別的超小流量的分析與控制,能夠滿足復雜多變的半導體制程需求。 而HORIBA集團也為可以給客戶提供全系列的產(chǎn)品而感到驕傲。

產(chǎn)品描述
高溫應用質(zhì)量流量控制器 SEC-8000 系列
 
耐溫150℃,*大流量1050SLM,

概要

        SEC-8000F/D/E 系列是日本horiba堀場/厚禮博品牌的特殊產(chǎn)品, 可以在高溫環(huán)境下工作, 實現(xiàn)超潔凈狀況下百萬分之上等別的超小流量的分析與控制,能夠滿足復雜多變的半導體制程需求。 而HORIBA集團也為可以給客戶提供全系列的產(chǎn)品而感到驕傲。

特征

·         適用于高溫:可滿足150℃烘焙
·         具備數(shù)字式流量計的高精度性能-高控制精度:±1.0% 設定流量.
·         超快速響應
·         超潔凈處理
·         滿足RoHS 環(huán)境標準
 

特征

它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。
  • 適用于高溫:可滿足150℃烘焙
  • 產(chǎn)品陣容中有可滿足使用溫度的產(chǎn)品型號
  • 超清潔類型:接氣部全不銹鋼構造
  • *適于MOCVD用有機金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制
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