- 如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以
- 產(chǎn)品名稱:D500壓力不敏感型高性能質(zhì)量流量控制器
- 產(chǎn)品型號(hào):
- 產(chǎn)品展商:日本HORIBA
- 產(chǎn)品文檔:無相關(guān)文檔
簡單介紹
壓力不敏感型高性能質(zhì)量流量控制器D500
暢銷型號(hào):D512MG、D522MG
流量范圍100sccm-10SLM,精度±1%
產(chǎn)品描述
商品詳情
壓力不敏感型高性能質(zhì)量流量控制器D500
暢銷型號(hào):D512MG、D522MG
流量范圍100sccm-10SLM,精度±1%
概要
壓力不敏感型高性能質(zhì)量流量控制器: D500
高穩(wěn)定性質(zhì)量流量模塊——?dú)怏w流量控制不受上游和下游壓力波動(dòng)差影響、PI(壓力不敏感型)質(zhì)量流量模塊
特征
· 壓力不敏感性
高性能的壓力不敏感型功能可有效簡化氣體供應(yīng)系統(tǒng)
· 多量程,多氣體,多種壓力的解決方案
新功能允許用戶改變氣體種類、滿量程內(nèi)的流量,供應(yīng)壓力范圍
· G-LIFE 自我檢測功能(氣體定律檢查集流節(jié)流方程)
先進(jìn)G-Life功能允許操作人員進(jìn)行流量計(jì)自我監(jiān)測,通常會(huì)在三秒內(nèi)提高生產(chǎn)能力
· 高精度
先進(jìn)的三維調(diào)節(jié)已改進(jìn)工藝氣體的流量精度
· 快速響應(yīng)
響應(yīng)速度<0.8秒
已實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)且穩(wěn)定的流量控制
· 動(dòng)態(tài)范圍
控制范圍:0.2% F.S. ~ 100% F.S.