- 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話，可以
- 產(chǎn)品名稱： EC-5000系列應腔室排氣壓力控制器
- 產(chǎn)品型號：
- 產(chǎn)品展商：日本HORIBA
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簡單介紹
應腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列
應腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列暢銷型號：EC-5104、EC-5105概要 Horiba品牌的EC-5000系列產(chǎn)品是由一套排氣壓力控制器所組成，
產(chǎn)品描述
商品詳情
應腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列
暢銷型號：EC-5104、EC-5105
概要
Horiba品牌的EC-5000系列產(chǎn)品是由一套排氣壓力控制器所組成，此裝置可保證反應室的壓力值始終穩(wěn)定在客戶要求的設(shè)定范圍。高分辨度的步進式馬達和獨特的蝶形閥設(shè)計確保了本產(chǎn)品的高速、高分辨度響應。
特征
適合高真空環(huán)境使用：不銹鋼質(zhì)本體
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抗腐蝕
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使用PTFE（聚四氟乙烯）制作的本體也可以提供
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適合對于腐蝕性氣體的使用
當排氣端流量被調(diào)整到*佳的位置：
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抗蝕劑是以一層均勻的薄膜方式分布的
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阻止了噴霧的次級沉積
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阻止了危險水蒸氣的擴散此外，與流量傳感器控制方式相比較而言，因抗蝕劑和其他污染物堆積對本產(chǎn)品造成的影響更小
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此產(chǎn)品屬于受日本法律管制的出口品（列于控制清單之上）。在從日本出口到海外或者供應給非日本企業(yè)前，必需從日本經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)省的相關(guān)部門獲得出口許可證件。
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Model EC-
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5104
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5105
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5202
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Compatible size
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NW40
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NW50
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25 mm PTFE fitting
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1 inch PTFE fitting
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Materials at gas contact area
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SUS316L, Fluoro rubber
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PTFE, PEEK, Fluoro rubber
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Conductance
(in vacuum area)
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0.4 to 80L/s
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0.6 to 200L/s
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——
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Outflow at 100 mm H2O
(fully closed)
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20L/min
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25L/min
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3L/min
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