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產(chǎn)品詳情

PV1000、PV2000壓電閥、壓力控制器 PV 系列

  • 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
  • 產(chǎn)品名稱: PV1000、PV2000壓電閥、壓力控制器 PV 系列
  • 產(chǎn)品型號:
  • 產(chǎn)品展商:日本HORIBA
  • 產(chǎn)品文檔:無相關(guān)文檔
簡單介紹

Horiba 壓電閥PV系列內(nèi)置有高速響應(yīng)的壓電閥,接氣部采用了全金屬構(gòu)造,*適于超清潔類型的高純度氣體供應(yīng)系統(tǒng)。通過金屬封口方式實現(xiàn)了超低泄漏,不僅可進(jìn)**體的流量控制,而且還可以進(jìn)行液體的流量控制

產(chǎn)品描述

商品詳情

壓電閥、壓力控制器 PV 系列

        Horiba 壓電閥PV系列內(nèi)置有高速響應(yīng)的壓電閥,接氣部采用了全金屬構(gòu)造,*適于超清潔類型的高純度氣體供應(yīng)系統(tǒng)。通過金屬封口方式實現(xiàn)了超低泄漏,不僅可進(jìn)**體的流量控制,而且還可以進(jìn)行液體的流量控制
 

概要

           PV1000、PV2000系列由陶瓷晶體閥和金屬主體和金屬密封圈組成,再由壓力傳感器或流量傳感器和一個比率控制器來進(jìn)行壓力控制或流量控制。陶瓷晶體驅(qū)動閥:陶瓷晶體閥系列根據(jù)外部單元控制信號來實現(xiàn)壓力控制功能。壓力信號來自壓力傳感器外部控制信號單元PCU-1000/2000,控制單元會通過節(jié)內(nèi)部電路計算出*佳的控制方式并輸出給陶瓷晶體閥來實現(xiàn)壓力控制。且PCU-2100同時具有壓力控制信號設(shè)定功能。

特征

  • 超潔凈處理
  • 量程范圍廣
  • 耐高溫 PV-1000S/2000S 系列
  • 外部控制壓力系統(tǒng)
 

規(guī)格

PV-1000
流量量程 1/5/100/200/500 CCM 1/2/5 LM (入口端為大氣壓力、出口端為真空、以N2換算)
流量控制范圍 全標(biāo)度的2?100%
閥門方式 常開/關(guān)閉型
控制輸入1 0?5VDC
響應(yīng)性 0.5秒以內(nèi)
使用溫度 0?50℃
使用壓力 *大值.300kPa
耐壓 1MPa
泄漏規(guī)格 5×10-12Pa?m3(He)
 
PV-2000
流量量程 10/20 LM (入口端為大氣壓力、出口端為真空、以N2換算)
流量控制范圍 全標(biāo)度の2?100%
閥門方式 常開/關(guān)閉型
控制輸入1 0?5VDC
響應(yīng)性 0.5秒以內(nèi)
使用溫度 0?50℃
使用壓力 *大值.300kPa
耐壓 1MPa
泄漏規(guī)格 5×10-12Pa?m3(He)
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