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- 產(chǎn)品名稱：LF-F 微小液體質(zhì)量流量計 LV-F質(zhì)量流量控制器
- 產(chǎn)品型號：
- 產(chǎn)品展商：日本HORIBA
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簡單介紹
Horiba 微小液體質(zhì)量流量計LF-F 、LV-F
Horiba 微小液體質(zhì)量流量計LF-F
質(zhì)量流量控制器LV-F，量程范圍0.02g/min--100g/min
產(chǎn)品描述
商品詳情
Horiba 微小液體質(zhì)量流量計LF-F
質(zhì)量流量控制器LV-F
暢銷型號：LV-F20、LV-F30、LV-F40、LV-F50；LF-F20M-A、LF-F30M-A、LF-F40M-A
Horiba微小液體質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器LF-F/LV-F系列
搭載有世界上冷卻檢測方式的流量傳感器
特征
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通過采用數(shù)字回路，實現(xiàn)了高精度?高速響應(yīng)。
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可以進行低沸點液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。
選型要求：按以下規(guī)格確認型號，并請?zhí)峁﹨?shù)：介質(zhì)名稱、量程、接口尺寸。
規(guī)格
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名稱
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質(zhì)量流量控制器
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型號
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LV-F20 (PO/MO)
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LV-F30 (PO/MO)
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LV-F40 (PO/MO)
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LV-F50 (PO/MO)
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LV-F60 (PO/MO)
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全標(biāo)度流量(g/min)
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0.02/0.05/0.1
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0.2/0.5
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1/2/5
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10/20
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50/100
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檢測控制范圍
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5?100% F.S.
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對象液體種類*1
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可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
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液體粘度*2
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低于 0.01 Pa·s (10cp)
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精度*3
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±1% F.S.
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直線性*3
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±0.5% F.S.
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重復(fù)性*3
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±0.5% F.S.
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響應(yīng)精度
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3秒以內(nèi)(T98)
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2秒以內(nèi)(T98)
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使用環(huán)境溫度*4
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5?50℃(15?45℃精度的確保)
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溫度影響Span
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±0.1%F.S./℃
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工作差壓值*5
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0.05?0.3MPa
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耐壓
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1MPa
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壓力損失
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ー
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流量設(shè)定信號
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模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
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流量輸出信號
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模擬：0?5 VDC(*小負荷電阻2kΩ)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
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驅(qū)動電源
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+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA
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外部泄漏規(guī)格
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PO類型：1×10-8Pa?m3/s (He) MO類型：5×10-12Pa?m3/s (He)
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接液部材質(zhì)
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PO類型：SUS316L，Ni，PTFE，PFA MO類型：SUS316L，Ni
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標(biāo)準(zhǔn)接頭
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1/16”，1/8”卡套；
1/8”VCR
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1/8”SWL類型，1/8”VCR類型
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1/4”SWL類型1/4”VCR類型
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名稱
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質(zhì)量流量計
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型號
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LF-F20M-A
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LF-F30M-A
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LF-F40M-A
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LF-F50M-A
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LF-F60M-A
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全標(biāo)度流量(g/min)
|
0.02/0.05/0.1
|
0.2/0.5
|
1/2/5
|
10/20
|
50/100
|
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檢測控制范圍
|
5?100% F.S.
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對象液體種類*1
|
可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
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液體粘度*2
|
不高于 0.1 Pa·s (100cp)
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精度*3
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±1% F.S.
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直線性*3
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±0.5% F.S.
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|
重復(fù)性*3
|
±0.5% F.S.
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響應(yīng)精度
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3秒以內(nèi)(T98)
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2秒以內(nèi)(T98)
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使用環(huán)境溫度*4
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5?50℃(15?45℃精度的確保)
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溫度影響Span
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±0.1%F.S./℃
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工作差壓值值*5
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不高于5MPa (視為流量計) / 50?300kPa (with piezo控制閥)
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耐壓
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10MPa (視為流量計)
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壓力損失
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不高于 500Pa
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流量設(shè)定信號
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模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
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流量輸出信號
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模擬：0?5 VDC ；數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
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驅(qū)動電源
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+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA
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外部泄漏規(guī)格
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5×10-12Pa·m3/s (He)
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接液部材質(zhì)
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SUS316L, Ni
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標(biāo)準(zhǔn)接頭
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1/16”，1/8”SWL類型，1/8”VCR類型
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1/8”SWL類型，1/8”VCR類型
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1/4”SWL類型1/4”VCR類型
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*1：LF-F/LV-F系列質(zhì)量流量控制器利用1種液體進行了流量校正(請預(yù)先指定所使用 的液體。)
?不能檢測含有固體物的液體。
?如果混合液中混合比會發(fā)生變化時，請預(yù)先進行咨詢協(xié)商。
?LV-F系列質(zhì)量流量控制器如果在對象液體中含有粒子等時，請在一次端(入口端)安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
*2：LF-F類型質(zhì)量流量控制器根據(jù)流量量程，可以適用到 *大值，0.1Pa?s。有關(guān)高粘度的液體請預(yù)先進行咨詢協(xié)商。
*3： 以SEMI E56-1296為準(zhǔn)。
*4： 進行測量?控制的液體溫度如果低于環(huán)境溫度時，使用時請把溫差控制在10℃以 內(nèi)；如果高于液體溫度時，使用時請把溫差控制在3℃以內(nèi)。
*5：這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。