流量液體源汽化控制系統(tǒng) LE系列載氣，直接注入型概要 Horiba 汽化器LE系列屬于直接注入型液體汽化控制系統(tǒng)，基于合理的內(nèi)部結構設計，和高效熱傳導材料的使用，LE可實現(xiàn)高效、大流量的液體汽化，可防治液體凝結。操作溫度上限可達300℃，IPA汽化量可達30g/min（或等量）。*常見的使用有在太陽能電池制程中，可以用LE實現(xiàn)TMA氣化工藝。在PV的制程中，可以用LE實現(xiàn)OMCTS的氣化工藝。

產(chǎn)品描述

商品詳情

大流量液體源汽化控制系統(tǒng) LE系列

載氣，直接注入型

概要

Horiba 汽化器LE系列屬于直接注入型液體汽化控制系統(tǒng)，基于合理的內(nèi)部結構設計，和高效熱傳導材料的使用，LE可實現(xiàn)高效、大流量的液體汽化，可防治液體凝結。操作溫度上限可達300℃，IPA汽化量可達30g/min（或等量）。*常見的使用有在太陽能電池制程中，可以用LE實現(xiàn)TMA氣化工藝。在PV的制程中，可以用LE實現(xiàn)OMCTS的氣化工藝。

特征

*大汽化率
*新的噴射器嘴確保持續(xù)不斷穩(wěn)定汽化
全不銹鋼設計，*大程度的避免腐蝕及減少顆粒物生產(chǎn)
支持多種液體源汽化

規(guī)格

規(guī)格參數(shù)

已應用液體源	H₂O / IPA / TEOS / SICL₄
	更多的液體源汽化信息請與公司聯(lián)系
*大汽化量（氣體流量）	H₂O : 10g/min (12.4 SLM)
	IPA ： 30g/min (11.1 SLM）
	TEOS : 50g/min（5.3 SLM）
	SiCl₄ ： 130g/min（17.1 SLM）

液體源汽化系統(tǒng)

HORIBA的液體源汽化系統(tǒng)包括三種不同類型的汽化方式：直接注入式、混合注入式、直接加熱式。我們的產(chǎn)品嚴格遵守半導體市場不斷更新的要求。我們利用**監(jiān)測/汽化原理制作產(chǎn)品，比如壓差監(jiān)測法或HORIBA更早前開發(fā)的應用于液體流量計的冷卻法，以及螺旋式的混合注入系統(tǒng)。我們多種不同的汽化系統(tǒng)以及流量控制器可提供您多種不同的選擇方式。
HORIBA還擁有高精度、高速數(shù)字流量響應的液體流量控制器和液體流量計。

HORIBA對于以下幾種液體材料有著豐富的經(jīng)驗

Acetic Acid	Benzene	B(OCH3)3	BTBAS	C6F6
Cyclohexane	Decyl-TMOS	DPM	DPMS	Ethanol
Ge(OCH3)4	GeCl4	H2O	HCD	HDFDA
HMDS	HMDSO	i-Octane	IPA	Me-Cyclohexane
Methanol	n-Octane	OMCTS	OMTS	P(OCH3)3
PO(OCH3)3	SAM24	Si(CH3)4	Si(OCH3)4	SiCH3Cl3
SiCl4	SiH(OCH3)3	SiHCl3	Ta(OC2H5)5	TBTDETa
TDEAHf	TDEAT	TDMAS	TDMAT	TEB
TEMAHf	TEMAZr	TEOS	TEPO	THF
Ti(O-iPr)4	TiCl4	TMCTS	Toluene	1,3-DMA

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大流量液體汽化控制系統(tǒng) LE系列