- 如果您對該產品感興趣的話，可以
- 產品名稱：VC1310 非載氣直接注入式液體汽化器
- 產品型號：
- 產品展商：日本HORIBA
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簡單介紹
HORIBA的液體源汽化系統(tǒng)包括三種不同類型的汽化方式：直接注入式、混合注入式、直接加熱式。我們的產品嚴格遵守半導體市場不斷更新的要求。我們利用監(jiān)測/汽化原理制作產品，比如壓差監(jiān)測法或HORIBA更早前開發(fā)的應用于液體流量計的冷卻法，以及螺旋式的混合注入系統(tǒng)。我們多種不同的汽化系統(tǒng)以及流量控制器可提供您多種不同的選擇方式。
HORIBA還擁有高精度、高速數(shù)字流量響應的液體流量控制器和液體流量計。
HORIBA對于以下幾種液體材料有著豐富的經驗
產品描述
商品詳情
Horiba 直接注入式液體汽化器VC1310
非載氣，5scmm
概要
由于是無載體類型，所以可以構筑小型氣化系統(tǒng)
由于通過質量流量來測定發(fā)生量，所以可以不必受到溫度?壓力的影響進行液體材料的氣化供給。
特征
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超小型 ： 只有原來的1/5
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高速完全氣化 ： 可以瞬間完全氣化被供應的液體。
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安裝固定方向自由 ：無論在哪一個安裝固定方向，都可以保持相應功能。
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不需要氣泡式容器、氣化容器
規(guī)格
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VC-1310
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產生流量 (TEOS發(fā)生時)
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小于1.0 CCM (液相的換算) ※1
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對象液體種類
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會腐蝕不銹鋼的HCl、HF等液體除外
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可升溫溫度
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上限值 150℃
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接氣部材質
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SUS-316L (PTFE)
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耐壓
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1.0MPa(G)
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VC-1310
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產生流量 (TEOS發(fā)生時)
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上限值5.0 CCM不到 (液相的換算) ※1
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對象液體種類
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會腐蝕不銹鋼的HCl、HF等液體除外
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可升溫溫度
|
上限值 150℃
|
|
接氣部材質
|
SUS-316L (PTFE)
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|
耐壓
|
1.0MPa(G)
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※1 不同的液體種類將會有所差異。請進行咨詢協(xié)商。
液體源汽化系統(tǒng)
HORIBA的液體源汽化系統(tǒng)包括三種不同類型的汽化方式：直接注入式、混合注入式、直接加熱式。我們的產品嚴格遵守半導體市場不斷更新的要求。我們利用監(jiān)測/汽化原理制作產品，比如壓差監(jiān)測法或HORIBA更早前開發(fā)的應用于液體流量計的冷卻法，以及螺旋式的混合注入系統(tǒng)。我們多種不同的汽化系統(tǒng)以及流量控制器可提供您多種不同的選擇方式。
HORIBA還擁有高精度、高速數(shù)字流量響應的液體流量控制器和液體流量計。
HORIBA對于以下幾種液體材料有著豐富的經驗
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Acetic Acid
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Benzene
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B(OCH3)3
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BTBAS
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C6F6
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Cyclohexane
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Decyl-TMOS
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DPM
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DPMS
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Ethanol
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Ge(OCH3)4
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GeCl4
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H2O
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HCD
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HDFDA
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HMDS
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HMDSO
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i-Octane
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IPA
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Me-Cyclohexane
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Methanol
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n-Octane
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OMCTS
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OMTS
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P(OCH3)3
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PO(OCH3)3
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SAM24
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Si(CH3)4
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Si(OCH3)4
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SiCH3Cl3
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SiCl4
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SiH(OCH3)3
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SiHCl3
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Ta(OC2H5)5
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TBTDETa
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TDEAHf
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TDEAT
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TDMAS
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TDMAT
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TEB
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TEMAHf
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TEMAZr
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TEOS
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TEPO
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THF
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Ti(O-iPr)4
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TiCl4
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TMCTS
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Toluene
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1,3-DMA
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