Horiba微型殘余氣體分析儀MICROPOLE RGA是一種目前市面上*小的質(zhì)量能譜儀分析系統(tǒng)。通過享有磚利的小型化設(shè)計(jì)將四電極質(zhì)量過濾器進(jìn)行排列，從而獲得了上乘的緊湊尺寸。與傳統(tǒng)的質(zhì)量能譜儀相比，這種排列方式可以提供相近或者更好的靈敏度，但只占傳統(tǒng)質(zhì)量能譜儀的一小部分體積。殘余氣體分析儀MICROPOLE RGA與傳統(tǒng)質(zhì)量能譜儀相比，本系統(tǒng)可以在更高的壓力環(huán)境下使用，因此，它可以減少原來需要另外配置的差壓泵設(shè)備根據(jù)可以讓用戶直接更替?zhèn)鞲衅鞯霓D(zhuǎn)移標(biāo)準(zhǔn)，我們的傳感器已經(jīng)在工廠進(jìn)行過預(yù)先調(diào)諧和校準(zhǔn)處理，無需專業(yè)的技術(shù)性再校準(zhǔn)當(dāng)你使用帶有3.5寸LCD顯示屏的監(jiān)測(cè)控制器時(shí)，不經(jīng)過電腦進(jìn)行數(shù)據(jù)提取也是可行的。升級(jí)到八電極系統(tǒng)后，它可以通過RS485或者以太網(wǎng)通訊進(jìn)行網(wǎng)絡(luò)控制。

產(chǎn)品描述

商品詳情

殘余氣體分析儀 MICROPOLE系統(tǒng)RGA

-小型質(zhì)量能譜儀

概要
Horiba微型殘余氣體分析儀MICROPOLE RGA是一種目前市面上*小的質(zhì)量能譜儀分析系統(tǒng)。通過享有磚利的小型化設(shè)計(jì)將四電極質(zhì)量過濾器進(jìn)行排列，從而獲得了上乘的緊湊尺寸。與傳統(tǒng)的質(zhì)量能譜儀相比，這種排列方式可以提供相近或者更好的靈敏度，但只占傳統(tǒng)質(zhì)量能譜儀的一小部分體積。
殘余氣體分析儀MICROPOLE RGA與傳統(tǒng)質(zhì)量能譜儀相比，本系統(tǒng)可以在更高的壓力環(huán)境下使用，因此，它可以減少原來需要另外配置的差壓泵設(shè)備根據(jù)可以讓用戶直接更替?zhèn)鞲衅鞯霓D(zhuǎn)移標(biāo)準(zhǔn)，我們的傳感器已經(jīng)在工廠進(jìn)行過預(yù)先調(diào)諧和校準(zhǔn)處理，無需專業(yè)的技術(shù)性再校準(zhǔn)當(dāng)你使用帶有3.5寸LCD顯示屏的監(jiān)測(cè)控制器時(shí)，不經(jīng)過電腦進(jìn)行數(shù)據(jù)提取也是可行的。升級(jí)到八電極系統(tǒng)后，它可以通過RS485或者以太網(wǎng)通訊進(jìn)行網(wǎng)絡(luò)控制。

特征

極為緊湊的安裝尺寸和極輕的重量

與傳統(tǒng)的殘余氣體分析儀相比，它只有其1/20的尺寸，這使它非常容易整合到您的系統(tǒng)之中。

高性能

在只占傳統(tǒng)電極一小部分的體積里，微型化的九電極排列提供了優(yōu)越的靈敏度。

高壓力條件下可使用

可以在高于0.9Pa(7mTorr, 9 x 10^-3mbar)的壓力條件下使用，在許多需要昂貴真空泵的應(yīng)用當(dāng)中，可以簡(jiǎn)化或者省略泵的使用。

已經(jīng)校準(zhǔn)過的可替換傳感器接頭

此傳感器接頭在出貨之前已經(jīng)進(jìn)行過預(yù)調(diào)諧和校準(zhǔn)。允許客戶自己在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行傳感器的更換而不需要任何微調(diào)或者技術(shù)性專家鑒定。

網(wǎng)絡(luò)傳感器

升級(jí)到八電極后，可以通過一臺(tái)使用RS485接口的電腦進(jìn)行監(jiān)測(cè)。此系統(tǒng)也可以通過以太網(wǎng)進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)測(cè)。

用戶友好軟件

微電極掃描軟件允許用戶用各種不同的方式監(jiān)測(cè)氣體的部分壓力，如趨勢(shì)曲線圖，相似性曲線圖，泄露模式，條形統(tǒng)計(jì)圖，3D等

監(jiān)測(cè)控制

可選擇性的監(jiān)測(cè)控制器可以直接安裝在反應(yīng)室的光譜發(fā)生器上，使用戶無需電腦就可以監(jiān)測(cè)真空反應(yīng)室。

■測(cè)量原理

殘余氣體分析儀是由一個(gè)離子源，一個(gè)質(zhì)量分光儀和一個(gè)監(jiān)測(cè)單元組成。當(dāng)殘余氣體與從高溫金屬絲釋放的熱電子碰撞后，它將被離子化。并且，這些因此產(chǎn)生的離子會(huì)加速會(huì)合到質(zhì)量能譜儀上。在質(zhì)量能譜儀上內(nèi)，直流和交流電壓被應(yīng)用到四個(gè)圓柱形的電極上（方形排列），從而讓離子因質(zhì)量的不同而被分離開。這些被分開的離子通過法拉第杯作為直流電被發(fā)現(xiàn)。這種離子電流是與殘余氣體的質(zhì)量成比例的。

■微電極分析儀

使用微電極的特色是什么呢？系統(tǒng)特有的只是微電極嗎？分析儀（MPA），一個(gè)包含九個(gè)方形電極區(qū)的分組，可以提供先進(jìn)的高精度光信息處理技術(shù)和玻璃/金屬結(jié)合技術(shù)。MPA的發(fā)展催生出了世界上*小的殘余氣體分析儀，并且與傳統(tǒng)巨大的質(zhì)量能譜儀相比，提供了相同或者更好的靈敏度。此分析儀是一種插入式部件。它是一個(gè)已經(jīng)被校準(zhǔn)過的局部壓力傳感器，并且可以提供完全和局部的壓力測(cè)量。