超純水管理用 高靈敏度硅表 SLIA-300

概要

在半導(dǎo)體/FPD工藝中，超純水中的二氧化硅濃度會給產(chǎn)品精度以及原材料利用率帶來很大影響。高靈敏度硅表 SLIA-300完全能夠達(dá)到1μg/L(1ppb)等級的檢測要求。在其小巧的臺式型機(jī)身中可實(shí)現(xiàn)在整個檢測范圍內(nèi)的高靈敏度檢測。連同HORIBA享有好評的一些基本特性，例如高速響應(yīng)性以及自我診斷功能等，其值得夸耀的表現(xiàn)將靈敏度帶入了一個新的等級。SLIA-300為半導(dǎo)體/FPD制造流程中的純水工藝提供了強(qiáng)有力的支持。

特征

●高靈敏度、以及較高的重復(fù)性。
利用HORIBA新開發(fā)的，獨(dú)特檢測單元，SLIA-300實(shí)現(xiàn)了應(yīng)對低濃度的高靈敏度測量。通過5分鐘的高速測量，可保證在0?2μg/L量程中實(shí)現(xiàn)全刻度±2%的重復(fù)性。
●小巧設(shè)計(jì)的臺式型。
新開發(fā)的檢測單元技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了劃時(shí)代的小巧設(shè)計(jì)。由于是臺式型，所以可以適用于各種各樣設(shè)置條件等較小空間。也可以作為移動式使用。
●試劑的消耗量可降低80%。
采用改良型檢測單元，可以把試劑的消耗量降低到原來的80%。能夠大幅地削減試劑的經(jīng)費(fèi)成本。
●*多可檢測6個點(diǎn)。(可選件)
支持多點(diǎn)檢測，SLIA-300支持的多點(diǎn)檢測。檢測點(diǎn)數(shù)可以在1和6之間進(jìn)行任意設(shè)定。
●自我診斷功能檢查運(yùn)行錯誤。
該功能可對試樣水以及試劑的注入、校正、檢測單元內(nèi)溫度和光源異常等運(yùn)行錯誤進(jìn)行監(jiān)測和自我診斷。如果發(fā)生錯誤，就會以報(bào)警燈顯示，同時(shí)通過文字顯示輸出信息。
●通過自動校正，實(shí)現(xiàn)良好維護(hù)性。
每次測量之前將自動進(jìn)行零點(diǎn)校正，除可以確認(rèn)透過光度以外，還可以修正濁度的影響。
●采用不需要更換的半長久性光源。
采用光量穩(wěn)定、 工作壽命長的單色性半導(dǎo)體光源。
 

規(guī)格